泉州三安半導體科技有限公司有機廢氣VOCs排氣治理工程簡介

（上海安居樂提供全部核心環保裝備並負責承建除錯）

一▩▩↟、工程概況

1▩▩↟、專案地點▩↟◕↟：福建省泉州市南安市石井鎮院前村

工程名稱▩↟◕↟：泉州三安半導體科技有限公司有機廢氣排氣治理工程

處理廢氣量▩↟◕↟：45000m³/h✘☁••，經轉輪吸附脫附後✘☁••，經過安全型RTO焚燒爐處理量為5000m³/h↟▩↟。

2▩▩↟、廢氣成分▩↟◕↟：

PGME（丙二醇甲醚）▩▩↟、PGMEA（丙二醇甲醚醋酸酯）▩▩↟、IPA（異丙醇）▩▩↟、▩▩↟、▩▩↟、▩▩↟、等等

廢氣排放平均濃度▩↟◕↟：200 mg/m3；

廢氣排放流量▩↟◕↟：45000CMH（25℃）

驗收標準

VOCs 濃度在 100-200mg/m3 以上時✘☁••，去除率 95%以上↟▩↟。

THC 濃度在 50~80 mg/m3 以上時✘☁••，去除率 85~90%以上↟▩↟。

THC 濃度在 50 mg/m3以下時✘☁••，出口平均濃度不得超過 10 mg/m3↟▩↟。

《福建省環保廳關於印發福建省重點行業揮發性有機物排放控制要求（試行）的通知》

（RTO 尾氣含氧量折算方法執行《揮發性有機物無組織排放控制標準》）

本專案驗收執行《大氣汙染物綜合排放標準》中關於揮發性有機物排放指標要求↟▩↟。

3▩▩↟、工藝簡述▩↟◕↟：

廢氣經收集後✘☁••，首先進入四級預處理系統（初▩▩↟、中▩▩↟、高效過濾器✘☁••，半導體行業分子篩定製保護器）淨化去除廢氣中的粉塵顆粒物等✘☁••，再匯入冷凝系統▩▩↟、利用甲方冷卻水給廢氣降溫✘☁••，最後由沸石濃縮轉輪吸附區吸附✘☁••，濃縮轉輪吸附住的有機物✘☁••，從轉輪脫附區域脫附出來進入 安全型RTO 高溫氧化處理✘☁••，脫附熱風從冷卻風機（變頻）抽出✘☁••，高溫熱旁通換熱加熱✘☁••，達到脫附溫度要求✘☁••，此溫度可透過高溫熱旁通比例閥門 4-20 mA 訊號自行調節↟▩↟。從轉輪脫附出來的小風量✘☁••，高濃度有機廢氣送入 安全型RTO 高溫氧化爐中✘☁••，GRTO 出口分解後的潔淨氣體✘☁••，可以直接從煙囪排出↟▩↟。

4節能▩↟◕↟：系統設計根據風量自行調節裝置處理量及執行工況✘☁••，達到節能的效果↟▩↟。